ГОСТ 8.645-2014 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления» (с поправками)

ГОСТ 8.645-2014

Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ КОМПЛЕКСНОГО ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ

State system for ensuring the uniformity of measurements.
State verification schedule for means of measuring of the complex refractive index

Содержание

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Государственный первичный эталон

4 Рабочие эталоны

5 Рабочие средства измерений

Приложение А (обязательное). Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления

Предисловие

Цели, основные принципы и порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены в ГОСТ 1.0-92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения» и ГОСТ 1.2-2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила, рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены»

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений комплексного показателя преломления (см. рисунок А.1 приложения А) и устанавливает порядок передачи единиц комплексного показателя преломления от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи размера единиц:

n - показатель преломления (действительная часть) по ГОСТ 7601;

k - главный показатель поглощения (мнимая часть) по ГОСТ 7601.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте применена нормативная ссылка на следующий стандарт:

ГОСТ 7601-78 Физическая оптика. Термины, буквенные обозначения и определения основных величин.

3 Государственный первичный эталон

3.1 Государственный первичный эталон применяют для воспроизведения и хранения единиц комплексного показателя преломления и передачи единиц с помощью рабочих эталонов рабочим средствам измерений

3.2 Государственный первичный эталон состоит:

- из цифрового спектрального эллипсометра;

- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивных заготовок из кремния и других материалов - для контроля стабильности эталона;

- интерференционного компьютерного профилометра для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;

- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;

- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;

- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

3.3 Диапазон значений комплексного показателя преломления, , в котором воспроизводятся единицы, составляет:

- для действительной части n (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;